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（1）放大倍率15万倍（Magnification Max 150,000 X）
（2）采用二次电子和背散射电子双重探测器（Signal Detection: SE Detector+BSE Detector）
（3）1kV~30kV加速电压选择，图像分辨率高（Accelerating Voltage:1kV to 30kV，High image resolution）
（4）通过选配EDS可进行元素成份分析（EDS is optional, for component analysis）
（5）冷却台的安装可在无前处理情况下对水分取样分析(Installation a cooling Stage, Can measure aqueous samples without pretreatment)
（6）高/低真空配置缩短前处理过程（High&Low Vacuum System）
（7）CCD摄像头的安装可对载物台内部观察（The CCD camera is mounted to view the inside of the stage）
（8）Tilt（0~45）载物台配置（可选择）（Tilt Stage configuration( optional)）
产品特性：
（1）台式扫描电镜,体型小巧,占用空间小;
（2）强大的软件功能,单窗口操作界面让用户操作方便简单;
（3）软件实现检测图形实时存储;
（4）扫描电镜产品结构设计简洁,易于维护及保养;
（5）自动平台采用中心定位模式,迅速定位待测样品;
（6）高低压真空设计,可调式电压,为不同样品提供更合适的检测环境。
技术参数：
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分辨率 |
5nm (30kV, SE Image) |
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放大倍率 |
30~150,000 X |
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加速电压 |
1kV to 30kV (1kV/5kV/10 kV /15kV/20kV/30 kV -6 step) |
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图像检测 |
二次电子图像-(SE)-Secondary Electron Image |
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背散射电子图像(BSE)-Backscattered Electron Image |
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* Multi Detector (SE+BSE) |
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观察模式 |
Standard Mode |
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Charge-up reduction mode |
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电子枪系统 |
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灯丝类型 |
预对中钨灯丝 |
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偏压系统 |
自动偏压方式 |
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电子枪校正 |
手动方式 |
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透镜构成 |
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聚光镜 |
2段式磁线圈透镜 |
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物镜 |
1段式磁线圈透镜 |
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探测器类型 |
SE Detector/ BSE Detector |
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载物台系统 |
自动或者手动 |
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载物台移动 |
5轴手动或自动操控 |
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图像偏移 |
Image shift X, Y Image Shift (±150um) |
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样品尺寸 |
高度35mm时直径80mm |
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图像扫描 |
快速扫描: 320x240 (Scan time: 0.1 sec.) |
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低速扫描 : 640x480 (Scan time: 3 sec.) |
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图片模式1: 1280x960 (Scan time: 30sec.) |
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图片模式2: 2560x1920 (Scan time: 60sec.) |
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图片模式3: 5120x3840 (Scan time: 120sec.) |
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自动功能 |
自动启动，自动聚焦，自动亮度对比度调节 |
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图像存储格式 |
BMP, JPEG, PNG,TIFF |
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数据显示 |
放大倍率，探测器类型，电压，真空模式，Logo(Text)，Date and time，Text marker，比例尺等 |
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真空系统 |
全自动型/高真空模式+低真空模式 （旋转式机械泵）Rotary Pump/100Liters/min （涡轮式分子泵）Turbo Molecular Pump/ 70Liters/sec 抽真空时间：2分钟以内 |
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操控系统 |
鼠标和键盘 |
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PC：台式电脑（Desk Top） OS : Microsoft Windows 7 CPU : Intel CoreTM i5 or High version Memory / HDD : 4GB / 500GB or High version USB 2.0 |
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软件 |
图像文件打开，编辑，存储功能长度，面积，角度等测量功能,设置数初始化，图像拍摄模式转换，Archives, Setting(EDS)模式等 |
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体积 |
设备主机-410(W)×660(D)×600(H)mm 控制主机：410(W)×290(D)×520(H)mm 外置真空泵-400(W)×160(D)×340(H)mm |
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重量 |
105kg |
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设备环境 |
温度：15℃~30℃ 电源：Single phase 100~240V AC, 1kW, 50/60Hz |
